| 一种晶圆覆膜装置 |
| 林涛; 刘睿强; 毛朝庆; 马岗强; 杨毓军; 周青呈; 李志贵; 王明元; 方猛; 邓玉青
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| 2021-11-30
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| 专利权人 | 重庆电子工程职业学院
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 授权发明
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| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆覆膜装置，所述夹持组件夹持晶圆，并带动晶圆在所述直行滑轨上靠近所述第一切割刀具，所述牵引伸缩杆朝向所述收纳架伸缩，并夹持所述收纳架内的覆膜，且带动覆膜朝向远离所述收纳架的方向移动，使覆膜位于所述牵引伸缩杆和所述收纳架之间被夹持，所述夹持组件带动晶圆与覆膜接触，所述环形滑轨驱动所述连接臂旋转，进而带动所述第一切割刀具沿晶圆的外周对覆膜进行切割，直至切割一周，使覆膜全部与晶圆贴合，如此对覆膜进行全机械化切割，切割精度更高，稳定性更好，进而使覆膜效果更好。 |
| 申请日期 | 2019-11-22
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| 语种 | 中文
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| 法律状态 | 授权
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| 申请号 | CN201911156807.3
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| 公开（公告）号 | CN110744910B
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| IPC 分类号 | B32B37/00
; B32B38/00
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| 专利代理人 | 王玉芝
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| 代理机构 | 重庆蕴博君晟知识产权代理事务所(普通合伙)
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| CPC分类号 | B32B37/00
; B32B38/00
; B32B38/0004
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | https://ir.cqcet.edu.cn/handle/39TD4454/16978
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| 专题 | 重庆电子科技职业大学
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
林涛,刘睿强,毛朝庆,等. 一种晶圆覆膜装置[P]. 2021-11-30.
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文件名：
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CN110744910B-一种晶圆覆膜装置.PDF
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格式：
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Adobe PDF
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文件名：
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CN110744910A-一种晶圆覆膜装置.PDF
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格式：
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Adobe PDF
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